激光位移傳感器

激光位移傳感器CD5系列

半導體行業(yè)特別是半導體的核心晶圓片的生產，要求其厚度的平整精度以及切割的精度達到微米級以下，高精度激光測距（位移）傳感器CD5系列在此背景下研發(fā)成功。

高精度激光測距（位移）傳感器CD5分辨率高達0.37um，線性精度高達0.05% F.S.。

激光束穿過依靠音叉快速上下振動的物鏡聚集在目標表面。 從目標表面反射的光束匯集在小孔處，隨后進入感光元件。 

激光測距（位移）傳感器通過測量物鏡在感光時的確切位置精確測出與目標表面的距離，不會受到目標材質、顏色或角度的影響。

 激光位移傳感器技術參數(shù)

 激光位移傳感器使用特性

一：數(shù)字亞像素處理

激光位移傳感器CD5系列采用數(shù)字亞像素處理技術，可以將1個像素細分成65536個亞像素（256×256），使其線性精度比傳統(tǒng)位移傳感器提高了2倍以上。

高精度線性圖像傳感器, CD5的感光元器件采用高精度的線性圖像傳感器。與傳統(tǒng)位移傳感器相比，精度提高5倍，速度提高10倍。

高精度感光度修正，高分辨率的電子快門速度為采樣周期的1/485，因此有助于確保穩(wěn)定的受光量峰值狀態(tài)，自動優(yōu)化受光量，即使是不穩(wěn)定表面亦能保持穩(wěn)定檢測。

高速運算處理單元，實現(xiàn)高速度、高精度運算測量結，內置CD5專用的高速運算處理單元。從線性圖像傳感器獲取的測量結果進行迅速的修正失真/優(yōu)化/判定等處理，從而實現(xiàn)高速及高精度的檢測。

獨自算法，檢測半透明或表面不平的物體時會產生多重反射光，從而影響到受光波形的精確識別。Otpex-FA采用獨自算法解決這個問題。

正反射型激光位移傳感器CD5-L(W)25A/CD5-(W)30A/CD5-(W)85無需連接控制器亦可獨自測量玻璃的表面/背面，并可測量其厚度。

寬光斑型有效檢測粗糙表面，獲得較穩(wěn)定的高精度線性精度。

即使光束重疊也不導致測量誤差，防相互干擾功能即使不同感應頭的光束發(fā)生重疊，或2臺感應頭安裝位置較近時，也可保持穩(wěn)定的高精度測量。防相互干擾功能:max.2臺。

不僅CD5的感應頭本體防護等級達到IP67，而且擴展連接線連接器的防護等級也達到IP67，無需再做任何其他的防水措施。

 激光位移傳感器實例應用

分辨率提高5倍

CD5系列的分辨率比普通位移傳感器高5倍，實現(xiàn)更高精度的測量。

同等級產品中精度最高

CD5系列實現(xiàn)同等級產品中最高測量精度的檢測物體的高度/厚度。

最高線性精度

通過最高線性精度的CD5-(W)85（±0.05%F.S.）檢測物體的寬度，實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的測量。

超長檢測距離型

CD5-2000長距離檢測金屬滾軸的位置，實現(xiàn)工業(yè)自動化行業(yè)內最長距離的檢測。

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