作者:   發(fā)布時(shí)間:2014/4/28 11:01:59   瀏覽次數(shù):2770

新款微型壓力傳感器采用了MEMS技術(shù)


　　從地下750米的深處到珠穆朗瑪峰頂端，智能手機(jī)以及其它便攜設(shè)備在不久的未來(lái)將能夠確定所在位置的海拔高度變化，全球最大的消費(fèi)電子和便攜設(shè)備MEMS傳感器供應(yīng)商意法半導(dǎo)體以最新推出的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）壓力傳感器成功地實(shí)現(xiàn)這個(gè)概念。


　　新產(chǎn)品LPS001WP是一款微型壓力傳感器，采用創(chuàng)新的傳感技術(shù)，能夠精確地測(cè)量壓力和海拔高度。該產(chǎn)品采用超輕巧、薄型封裝，特別適用于智能手機(jī)、運(yùn)動(dòng)型手表、各種不同的便攜設(shè)備、氣象站，以及汽車(chē)和工業(yè)應(yīng)用。


　　意法半導(dǎo)體MEMS、傳感器以及高性能模擬產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vina表示：“MEMS技術(shù)讓我們不斷地開(kāi)發(fā)出可測(cè)量各種物理參數(shù)的新一代傳感器產(chǎn)品，例如線性運(yùn)動(dòng)傳感器、角動(dòng)作傳感器、壓力傳感器以及磁力傳感器等；同時(shí)，這些創(chuàng)新產(chǎn)品的制造成本不斷地降低，測(cè)量精密度也相對(duì)不斷地提高。這些傳感器的用途廣到遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了我們的想象。”


　　這款產(chǎn)品的首要目標(biāo)應(yīng)用之一是進(jìn)階型的便攜式PS定位設(shè)備，傳統(tǒng)的PS定位功能只能確定設(shè)備的2D位置。在整合LPS001WP壓力傳感器后，同一款設(shè)備將能提供精確的3D定位功能；舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)整合壓力傳感器的PS導(dǎo)航手機(jī)發(fā)送緊急求助呼叫時(shí)，消防人員、醫(yī)療救護(hù)人員或警察人員將能根據(jù)接收到的呼叫信號(hào)確定事故發(fā)生的具體所在位置和樓層。


　　LPS001WP的壓力檢測(cè)量程從300毫巴至1100毫巴，相當(dāng)于從-750米到+9000米海拔高度之間的氣壓，可檢測(cè)到最小0.065毫巴的氣壓變化，相當(dāng)于80厘米的海拔高度。該產(chǎn)品采用意法半導(dǎo)體獨(dú)有的VENSENS制程，能夠?qū)毫鞲衅髡显趩我痪?，不但可以?jié)省晶圓對(duì)晶圓的鍵合工序，還可最大幅度地提升產(chǎn)品的可靠性。


　　LPS001WP內(nèi)的壓力傳感器是通過(guò)覆蓋在氣腔上的柔性硅薄膜檢測(cè)壓力變化（其中氣隙是可控制的，壓力也已經(jīng)定義）。與傳統(tǒng)的硅微加工薄膜相比，新產(chǎn)品的薄膜非常小，內(nèi)建的微機(jī)械止動(dòng)結(jié)構(gòu)可防止氣壓破壞薄膜。這個(gè)薄膜包括電阻值隨著外部壓力變化而改變的微型壓電電阻器。壓力傳感器監(jiān)控硅薄膜電阻的變化，采用溫度補(bǔ)償方法修正變化偏差，把檢測(cè)到變化信息轉(zhuǎn)換成二進(jìn)制比特?cái)?shù)據(jù)，通過(guò)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)I2C或SPI通信接口將數(shù)據(jù)傳送至設(shè)備主處理器。


　　LPS001WP的主要技術(shù)特性：


　　? 0.065毫巴的高分辨率：能夠檢測(cè)最小80厘米的海拔高度變化；

　　? 意法半導(dǎo)體獨(dú)有的VENSENS技術(shù)，擁有高耐破裂強(qiáng)度，最高強(qiáng)度值達(dá)全量程的20倍；

新款微型壓力傳感器采用了MEMS技術(shù)

　　? 內(nèi)置溫度傳感器，可調(diào)整溫度范圍；


　　? 所有器件均在晶圓廠完成壓力和溫度校準(zhǔn)，無(wú)需在出貨前進(jìn)行；


　　? 采用小型塑膠基板柵格陣列：HCLA-8L封裝，該封裝上有一個(gè)通風(fēng)孔，外部壓力通過(guò)封裝上的通風(fēng)口與傳感元件接觸；以大規(guī)模低成本的應(yīng)用為目標(biāo)市場(chǎng)，意法半導(dǎo)體的MEMS傳感器擁有從晶圓加工到封裝測(cè)試的完整制造供應(yīng)鏈優(yōu)勢(shì)。 LPS001WP是不斷成長(zhǎng)的意法半導(dǎo)體MEMS傳感器系列的最新產(chǎn)品。


精密壓力計(jì)和壓力傳感器


公司進(jìn)一步豐富其精密壓力校準(zhǔn)產(chǎn)品線，推出新款700系列精密壓力計(jì)和兩款新型壓力傳感器：FLUKE719PRO和721雙量程壓力傳感器。量程從0.36至10,000 PSI，具有18種不同的工程單位可選，允許用戶對(duì)儀表進(jìn)行定制，以滿足客戶各種特殊的壓力校準(zhǔn)需求。從此，儀器儀表、過(guò)程及工廠維護(hù)技術(shù)人員能夠擁有完備的校準(zhǔn)設(shè)備，堅(jiān)固耐用、值得信賴(lài)。
700系列精密壓力計(jì)的壓力量程為10 inH20/20 mbar 至 10,000 psi/690 bar，0.05%的新絕壓測(cè)量準(zhǔn)確度，以及新參考級(jí)表壓測(cè)量準(zhǔn)確度達(dá)0.04%。700系列精密壓力計(jì)與Fluke 700PTPK或700HTPK配合使用時(shí)，即可實(shí)現(xiàn)完備的壓力測(cè)試解決方案，使用PTP-1氣壓泵時(shí)壓力可達(dá)600 psi (40 bar)，使用HTP-2液壓泵時(shí)壓力高達(dá)10,000 psi (690 bar)?，F(xiàn)在，F(xiàn)luke 700系列精密壓力計(jì)提供三年質(zhì)保。


719Pro自動(dòng)壓力傳感器是校準(zhǔn)高準(zhǔn)確度變送器、壓力開(kāi)關(guān)和壓力計(jì)的理想測(cè)試工具。719Pro具有高準(zhǔn)確度壓力測(cè)量功能以及內(nèi)置電動(dòng)壓力泵，可產(chǎn)生高達(dá)300 psi (20 bar)的壓力，無(wú)需外部手操泵。該校準(zhǔn)器還可測(cè)量、模擬和輸出4-20 mA環(huán)路電流信號(hào)，也可測(cè)量高達(dá)30 V直流電壓。其內(nèi)置24 V環(huán)路電源可為被測(cè)變送器供電。

Fluke 721雙量程壓力傳感器帶有兩個(gè)隔離的壓力傳感器，使技術(shù)人員能夠利用一款工具同時(shí)進(jìn)行靜壓和差壓測(cè)量，支持氣體貿(mào)易結(jié)算應(yīng)用。配置該校準(zhǔn)器時(shí)，可選擇16 psi (1.1 bar)或36 psi (2.48 bar)低壓傳感器，然后從7種高壓量程中進(jìn)行選擇，包括：100、300、500、1000、1500、3000或5000 psi (6.9、20、24.5、69、103.4、200、345 bar)。

新款微型壓力傳感器采用了MEMS技術(shù)