CD5激光位移傳感器檢測太陽能晶硅片的平整度
CD5-W85激光位移傳感器可高精度檢測透明太陽能基板的厚度和平整度。
CD5系列激光位移傳感器控制器CD5A-N內(nèi)置運算功能,在進(jìn)行平整度或厚度測量應(yīng)用時可通過簡便的運算處理就可獲取測量結(jié)果。
CD5-W85屬于常規(guī)型中距離激光位移傳感器,它擁有同級別中最的高線性度,
激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進(jìn)行測量的傳感器。它由激光器、激光檢測器和測量電路組成。激光傳感器是新型測量儀表。能夠精確非接觸測量被測物體的位置、位移等變化??梢詼y量位移、厚度、振動、距離、直徑等精密的幾何測量。
CD5-W85激光傳感器測量太陽能晶硅片的平整度。平整度的變化檢出可以幫助發(fā)現(xiàn)皺紋,小洞或者重疊,以避免機器發(fā)生故障。
CD5-W85激光傳感器有直線度好的優(yōu)良特性,同樣激光位移傳感器相對于我們已知的超聲波傳感器有更高的精度。
為提高太陽能晶硅片平整度檢測水平,提出了基于基準(zhǔn)傳遞原理的晶硅片平整度檢測方法,給出了采用CD5-W85+CD5A-N激光位移傳感器檢測測量出傳感器到被測物之間的距離,通過距離的變化來判斷物體表面的平整度。
CD5-W85可連接多個感應(yīng)頭的高性能位移傳感器
● 擁有最高分辨率(0.02um)的CD5L-25型。
● 擁有最高線性精度(0.05% F.S. )的CD5-85型。
● 多重運算功能,1個控制器可同時連接3個感應(yīng)頭。
● 感應(yīng)頭可無需連接控制器,獨立工作(專利申請中)。
● 通過RS-422與PC直接連接。
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