作者:admin   發(fā)布時(shí)間:2015/12/7 13:49:49   瀏覽次數(shù):2687

激光位移傳感器可精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化，主要應(yīng)用于檢測(cè)物的位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等幾何量的測(cè)量。按照測(cè)量原理,激光位移傳感器原理分為激光三角測(cè)量法和激光回波分析法,激光三角測(cè)量法一般適用于高精度、短距離的測(cè)量，而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測(cè)量，下面分別介紹激光位移傳感器原理的兩種測(cè)量方式。

其他位移傳感器比較

1.電渦流位移傳感器

分辨率：電渦流傳感器的分辨率最高也可達(dá)到0.1um，與激光位移傳感器基本相當(dāng) 　　

線性度：電渦流傳感器的線性度一般較低，為量程的1%左右，高端激光位移傳感器則一般為0.1% 　　

測(cè)量條件：電渦流傳感器要求被測(cè)體為導(dǎo)體而且非導(dǎo)磁，即不導(dǎo)磁的導(dǎo)體，例如鋁、銅等。鐵則不行。激光位移傳感器則對(duì)無(wú)論被測(cè)體是否導(dǎo)磁、是否導(dǎo)電都能測(cè)。

2.電容位移傳感器

電容式位移傳感器精度非常高，遠(yuǎn)高于激光位移傳感器，但是電容位移傳感器的量程很小一般小于1mm，激光位移傳感器的量程最大可做到2m。