作者:   發(fā)布時間:2014/7/10 11:02:22   瀏覽次數(shù):2379

溫度傳感器與壓力傳感器合并應(yīng)用案例

傳感器產(chǎn)品多樣，但是要做到合并使用有些困難，德金傳感器對傳感器的制造有很多心得，現(xiàn)在，就把我們的壓力與溫度復(fù)合傳感器及制備方法總結(jié)出來與大家分享。

技術(shù)人員知道，用于液體或氣體等被測介質(zhì)的壓力與溫度的同點測量，在宇宙飛船、飛機、高速列車，箭（導(dǎo)彈）、核反應(yīng)堆等特殊測量環(huán)境下，測量的可靠性要求是十分重要和必須的。但是現(xiàn)有傳感器不僅在制作精度上，而更重要的是在大加速度、高溫、強輻射、強振動等惡劣條件下，遠遠滿足不了測量可靠性的要求。很多專業(yè)人員，一生都在尋求完美的解決前述問題的方法。好在目前世界上，高純的三氧化二鋁（Al2O3）γ單晶體，即莫氏硬度達9.0，響應(yīng)頻率達5×1018Hz的藍寶石單晶體，已成為制造力敏和熱敏傳感器比較理想和幾近完美的高彈性高溫晶體。它可以外延生長出單晶硅，又極易同鈦、鉑等金屬親和，并且其熱膨脹系數(shù)在-196℃～400℃溫區(qū)內(nèi)，同鈦及絕大數(shù)鈦合金非常匹配。這給制作傳感器的高標(biāo)準(zhǔn)封接操作帶來了方便。但在結(jié)構(gòu)設(shè)計及工藝制作方面仍存在很多難題和困難。針對現(xiàn)有硅藍寶石力敏傳感器的加工工藝比較復(fù)雜等難以克服的問題，利用現(xiàn)代加工手段和新的思維方法，用它制造出了適用于高溫測量的硅藍寶石力敏傳感器，該制作工藝是將外延生長有單晶硅膜的藍寶石晶片，用靜電封接或用分子鍵方法，封接到鈦合金應(yīng)力杯上，以鈦合金應(yīng)力杯對稱中心為基準(zhǔn)，激光刻出硅應(yīng)變電阻，在硅應(yīng)變電阻的鉑金盤上用金屬彈性觸頭連接引線，進行封裝連接外引線，使該傳感器適用溫度達-196℃～400℃。這種傳感器雖解決了耐溫等問題，但“觸頭”在強振動和大加速度下，容易磨損和失效。同時也解決不了壓力與溫度的同點測量問題。為解決同點測量問題，人們試圖將壓力傳感器與溫度傳感器進行合并捆綁，如將Pt100鉑溫度傳感器與壓力傳感器捆綁到一起。但其存在以下問題：體積大，占用空間多；結(jié)構(gòu)不緊湊，測溫與測壓點分離；測溫原件與測點存有間隙，測溫易滯后或測不準(zhǔn)。如果加膠等介質(zhì)粘住溫度傳感器，又會帶來漏電，特別是高溫漏電，還存在溫度系數(shù)不匹配，有失效的可能；引線很難處理，一般不抗振和不抗大加速度；適應(yīng)溫度不夠；絕緣問題不好解決，外引線不好固定，抗振強度不夠等等。因此，現(xiàn)有傳感器遠遠滿足不了同點測量和在惡劣條件下測量的高可靠性要求。

溫度傳感器與壓力傳感器合并應(yīng)用案例

采用的技術(shù)方案是：該高溫壓力與溫度的復(fù)合傳感器包括利用靜電封接或分子鍵合在一起的藍寶石晶與鈦合金應(yīng)力杯、外引線及鈦合金外殼，其技術(shù)要點是：以鈦合金應(yīng)力杯對稱軸中心定位，在應(yīng)力區(qū)制作有硅應(yīng)變電阻和鉑焊盤的同一藍寶石晶片上的非應(yīng)力區(qū)一隅設(shè)置有鉑熱電阻，焊接在鈦合金應(yīng)力杯上的鈦固定爪的內(nèi)腔利用銀銅焊層封接有帶印刷電路的絕緣引線轉(zhuǎn)換板，作為內(nèi)引線的金屬箔條一端焊接在分別與硅應(yīng)變電阻及鉑熱電阻連接的鉑焊盤上，金屬箔條另一端與固定有外引線的絕緣引線轉(zhuǎn)換板焊接在一起。所述絕緣引線轉(zhuǎn)換板上的印刷電路是這樣制作的：首先預(yù)制絕緣引線轉(zhuǎn)換板，再將這個絕緣引線轉(zhuǎn)換板上的引線、穿線孔及與鈦固定爪封接表面，全部進行鎢鉬金屬化厚膜工藝處理，在鎢鉬金屬化膜層上，印制鈀銀引線漿料，在真空、900℃下燒結(jié)，于絕緣引銀引線焊盤、穿線孔、引線，形成完整的印刷電路。

這個方案具有的優(yōu)點及積極效果是：在“硅藍寶石力敏傳感器及其制備方法”基礎(chǔ)上改進而成，在同一藍寶石晶體片上，制成測量高溫介質(zhì)的硅壓力與鉑溫度的復(fù)合傳感器，所以既保留了現(xiàn)有硅藍寶石力敏傳感器的優(yōu)點，又拓展傳感器的新功能，解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的滿足不了同點測量壓力與溫度的高可靠性問題。在同一藍寶石晶片上制作測壓力（力）的單晶硅應(yīng)變電阻橋和鉑熱電阻；鉑熱電阻在制作過程已有專利《硅藍寶石力敏傳感器及制備工藝》制造應(yīng)變片的工藝過程完全兼容；用金屬箔條代替彈性金屬觸頭，抗剪、抗拉、無應(yīng)力，在實現(xiàn)耐高溫的同時，耐強振動與耐大加速度；外引線點焊或釬焊到引線轉(zhuǎn)換板上，有了固定點，抗拉。與同類產(chǎn)品相比，具有制造工藝更加合理，操作快捷，相對制作成本低，生產(chǎn)效率高的特點。因此，顯著提高了其在惡劣條件下測量的高可靠性和利于推廣應(yīng)用。

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壓力傳感器

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